射频电源维修RF generator ENI(MKS) NOVA-50A
射频电源常见故障及维修：
故障现象1：打开电源，电源指示灯不亮；
故障现象2：电源灯亮了，预热灯不亮；
故障现象3：电源灯亮了，预热灯亮、辉光亮，匹配器功率及反射功率，电源的功率指示和电流指示不正常。（正常的功 率指针指到220，电流指示0.4）
故障现象4：电源灯亮了，预热灯亮，辉光不亮:；
故障现象5：无功率输出；
故障现象6：有功率输出，但是调不大，或是调不到正常值。
故障现象7：无反射功率，或反射功率过大，射频功率源坏
射频电路指处理信号的电磁波长与电路或器材尺寸处于同一数量级的电路。此刻因为器材尺寸和导线尺寸的关系，电路需要用分布参数的相关理论来处理，这类电路都可以认为是射频电路，对其频率没有严格要求，如长距离传输的沟通输电线(50或60Hz)有时也要用RF的相关理论来处理
