多范围/多气体数字式质量流量控制器
SEC-Z500X系列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器
高性能高端数字式质量流量控制器
主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以最大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)； SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)
满量程流量
SEC-Z512KX: 1/2sccm
SEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpm
SEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpm
SEC-Z532KVX: 100slpm
SEC-Z542KVX: 200slpm
特点
质量和稳定性
HORIBA STEC. 工业领先商优质的稳定性
HORIBA STEC， 是一个全世界设备制造商的欢呼品牌，其中一个体现就是HORIBA STEC不断供应高质量，高稳定性产品来满足艰难标准。
可靠供应
HORIBA STEC 通过三个主要基地为客户迅速可靠供应设备：Kyoto，作为HORIBA STEC的总部；Aso，HORIBA集团的主要制造工厂，以生产最新设备为特色；以及两个位于美国（CA，TX）基地，作为超快供应商。
全球支持
全球网络机构值得信赖的支持系统
通过全世界的网络分支机构，HORIBA STEC的技术工程师为所有HORIBA STEC产品提供完全支持。
RoHS 标准
符合所有RoHS 规定
公司所涉及到的公司社会责任（CSR），其中就是要保护环境。作为HORIBA集团的内部公司，环境分析设备的领先商，HORIBA STEC总是致力于发展和生产环保产品。
规格-数字-模拟转换模式
型号*1 SEF-Z512KX SEF-Z512MGX SEF-Z522MGXN SEF-Z522MGX
SEF-Z512X SEF-Z522XN SEF-Z522X
全标准流量
(N2 转换流量) 1/2SCCM MR/MG number
#R01:10SCCM
#R1.5:17.5SCCM
#01:30SCCM
#1.5:55SCCM
#02:100SCCM
#2.5:175SCCM
#03:300SCCM
#3.5:550SCCM
#04:1SLM
#4.5:1.75SLM
#05:3SLM
#5.5:5.5SLM
#06:10SLM MR/MG number
#6.5: 22SLM
#07: 30SLM
#08: 50SLM
阀门类型 O: 通常打开 C: 通常关闭
完全关闭控制阀时的流量 ≤ 2% F.S.
流量测量范围 0-100% of F.S.
精确性*2 ±1.0%F.S.