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金属钪、钇、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥
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碳化硼靶、氮化硼靶、氮化钛靶、单晶硅靶、多晶硅靶
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碲化锑靶材、硒化铟靶材、硒化铜靶材、硒化铋靶材、碲
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钌靶、钯靶、铱靶、金靶、铂靶、银靶、锇靶
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铜铟镓硒靶材
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