X、Y、Z轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司

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PK3L80-080U是一款超紧凑的亚纳米闭环控制扫描台，每个轴都经过机械预加载。独特的产品设计非常紧凑，在XYZ运动轴上的运动均可达80µm（闭环）行程，并且由于柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动。其紧凑的设计使其是许多应用的理想工具，例如：光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。

可以选择使用集成的SGS测量系统来克服迟滞的影响，并且PK3L80-080U定位系统可以配备电容测量系统，PK3L80-080U压电扫描台可以轻松地与其他机械定位系统结合使用。压电扫描台是为了满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动，以柔性铰链为导向使其结构紧凑、具有无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

PK3L80-080U系列非常适合从光学研究到OEM系统的各种应用。非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。

本系列产品种类包括X、Z、XZ、XY、XYZ轴运动系统版本。请参照相关型号介绍。

产品特性

—XYZ位移：80μm（闭环）

—中孔尺寸：45x45mm

—最大承载能力：0.6Kg

—紧凑型设计

高精度柔性导向

选配功能

—可定制转接装置

—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

—可选配闭环(SGS) 位置反馈系

—可选择中心孔径大小

应用领域

—扫描显微镜

—超分辨率显微镜

—掩模、晶圆定位

—干涉测量、测量技术

—显微操纵

                  结构原理                                     堆叠形式                                    典型应用

PK3L80-080U系列技术参数