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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

微区XRD

微区XRD可以测试某个区域的XRD谱图,但是测试区域需要大于等于0.5 mm,不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °,半导体衬底费用多少,其他角度需要先和检测老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品(尺寸要求是长宽一般1-2 cm,厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的XRD,就可以用微区XRD来测试。

掠入射XRD

掠入射XRD是专门用来测试薄膜样品的手段。测试光是平行光,相对于常规的衍射光来说能量较小,因此掠入射测试XRD的谱图峰强相对较弱。但是平行光可以更好的关注薄膜表面的信息,也不容易测到基底,因此掠入射XRD专门用于测试薄膜样品。薄膜尺寸没有特别要求,但是需要测试面平整光洁,半导体衬底,不要有遮挡物,这样测试结果才真实可信。




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做 XRD 有什么用途啊,能看出其纯度?还是能看出其中含有某种官能团?

  X 射线照射到物质上将产生散射。晶态物质对 X 射线产生的相干散射表现为衍射现象,即入射光束出射时光束没有被发散但方向被改变了而其波长保持不变的现象,这是晶态物质特有的现象。

  绝大多数固态物质都是晶态或微晶态或准晶态物质,都能产生 X 射线衍射。晶体微观结构的特征是具有周期性的长程的有序结构。晶体的 X 射线衍射图是晶体微观结构立体场景的一种物理变换,包含了晶体结构的全部信息。用少量固体粉末或小块样品便可得到其 X 射线衍射图。



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XRD结晶度计算公式和分析方法是什么?

XRD结晶度是根据部分结晶聚合物的X射线衍射强度峰总面积中晶区部分贡献的百分数计算的结晶度。

  分析方法:

  已知波长的X射线来测量θ角du,从而计算出晶面间距d,这是用于X射线结构分析zhi;dao另一个是应用已知d的晶体来测量θ角,从而计算出特征X射线的波长,进而可在已有资料查出试样中所含的元素。

  分析晶体衍射基础的公式是布拉格定律:2d sinθ=nλ,香港特别行政半导体衬底,式中λ为X射线的波长,n为任何正整数,又称衍射级数。

  当X射线以掠角θ(入射角的余角)入射到某一点阵平面间距为d的原子面上时,在符合上式的条件下,将在反射方向上得到因叠加而加强的衍射线。



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