半导体薄膜测试机构 宁夏回族自治XRD小角度

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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,XRD小角度哪里有,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

(2)获得了一批Co合金试样的XRD衍射数据,试样中Co含量超过95%。试样的谱线均在纯钴谱线左侧,低角度谱线偏离0.2度左右,高角度谱线偏离0.3-0.4度左右。请问它们是第二相固溶引起的吗?它们与固溶程度有什么定性和定量的关系?

  根据布拉格公式,峰位置向左偏移,相当于d值变大了,反映其晶胞参数变大了,说明在Co的晶格中渗入了其他的原子。另外,没有出现新的衍射峰,说明是铝的无序固溶体,保持着纯铝的晶体结构。

  (3)已知X射线衍射数据,如何计算晶粒尺寸晶格常数和畸变?

  根据衍射峰的峰形数据可以计算晶粒尺寸晶格常数和畸变。在衍射峰的宽化仅由于晶粒的细小产生的情况下,根据衍射峰的宽化量应用Scherrer公式便可以估算晶粒在该衍射方向上的厚度。



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 六角结构的晶体在生长时它的内在的优先生长方向是哪一个?

  一般来说晶体沿短轴方向生长速度快 ,垂直于长轴方向的晶面密度较大,从能量的角度说,当晶体生长时,这样的格位更稳定一些。

  在 X 射线测量中(三方晶系)通常给出的都是六方的晶格常数例如 a=b=5.741, c=7.141,夹角分别为 120°,120°,90°。现在我想把它换算成三方结构的晶格常数 a=b=c=? , 夹角 a=? 你是通过对衍射数据指标化得出的六方晶格常数,XRD小角度服务,还是从文献得到的?如果你的晶胞是菱

  方格子,那么用六方定向和菱方定向是一样的。

  梁敬魁的《粉末衍射法测定晶体结构》中有公式可以由三方转六方,或六方转三方。



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关于样品试片平面的准备

通常采用的制作衍射仪试片的方法都很难避免在试片平面中导致表层晶粒有某种程度的择优取向。多数晶体是各向异性的,把它们的粉末压入样品框窗孔中很容易引起择优取向,尤其对那些容易解理成棒状、鳞片状小晶粒的样品,宁夏回族自治XRD小角度,例如云母、黄色氧化铅、β -铝等,对于这类样品,采用普通的压入法制作试片,衍射强度测量的重现性很差,甚至会得到相对强度大小次序颠倒过来的衍射图谱。克服择优取向没有通用的方法,根据实际情况可以采用以下几种:使样品粉末尽可能的细,装样时用筛子筛入,XRD小角度费用多少,先用小抹刀刀口剁实并尽可能轻压等等;把样品粉末筛落在倾斜放置的粘有胶的平面上通常也能减少择优取向,但是得到的样品表面较粗糙;或者通过加入各向同性物质(如 MgO,CaF2等)与样品混合均匀,混入物还能起到内标的作用。但是,对于一些具有明显各向异性的晶体样品,采用上述方法仍不可避免一定程度的择优取向;而且对于具有十分细小晶粒的金属样品,采用形变的方法(碾、压等等)把样品制成平板使用时也常常会导致择优取向的织构,需要考虑适当的退火处理。

  然而,如果为了研究样品的某一特征衍射,择优取向却是十分有用的,此时,制样将力求使晶粒高度取向,以得到某一晶面的大强度,例如在粘土矿物的鉴定与研究中,001衍射具有特别的价值,故它们的X射线衍射分析常在样品晶粒的定向集合体上进行,需要制作所谓“定向试片”。




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