XRD残余应力多少 半导体XRD薄膜测试

半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

我想知道不同衍射角对应的晶面，怎么办？

　　如果你的图能够找到对应的粉末衍射数据卡，那么问题就简单了。多数的粉末衍射数据卡上面都给出了各衍射线的衍射指标，也就可以知道对应的晶面了。

　　如果是未知晶体结构的图，吉林XRD残余应力，就需要求解各衍射线的衍射指标，这一步工作叫做"衍射图的指标化"。如自己解决需要具备基础的晶体学知识，然后学会一两个指标化的工具软件（如treaor90）进行尝试。

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衍射卡片里面相对强度怎么有的大于 100？

　　（比如为 999）粉末衍射卡的强度数据以相对强度提供，XRD残余应力价格，一般以线为 100。但是计算的粉末衍射数据峰的强度值取作 999。其实相对强度的数值并不重要，您只要把的当作 100，其它的与之比较就可以了，比如 999 当作 100 那么 500 就是 50，353 就是 35，XRD残余应力哪里有，在这里因为是估计，有误差也没有关系了。

　　同一种物质对应着两张卡片，这正常吗？

　　这很正常，两张卡片是在不同的时间或由不同的人做的。你可以按卡片号调出卡片，卡片上就可以查到卡片数据出处的原始文献。

　　在 X 射线粉末衍射的数据表中，Peak List 中有 Rel.Int.[%]，Pattern List 中有 Scale Fac，请问"Rel.Int.[%]"，"Scale Fac"代表的意义。

　　"Rel.Int.[%]"的意思是"相对强度，%"，"Scale Fac"是（强度）"比例因子"。

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除了结构缺陷和应力等因素外，为什么粒径越小，衍射峰越宽?

　　从衍射理论知道，衍射极大和第i一极i小之间的角宽度与发生相干衍射区域（相干域）的尺寸有关，相干域越大，角宽度就越小。一般来说，相干域的尺寸小于 2 微米，XRD残余应力费用多少，就会使衍射峰造成可测量的宽化。所以，晶粒的粒径越小，以至不能再近似看成具有无i限多晶面的理想晶体，对 X 射线的弥散现象就越严重，表现在峰强变弱，峰变宽。

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