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- 发布时间
- 2022-09-29 10:52:11
半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，新疆维吾尔自治半导体衬底，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
温度对薄膜晶面生长的影响
根据实验数据将不同温度所镀相同材料做出同一坐标下射线衍射强度—2倍衍射角曲线图，从图中可以分析出各个晶面衍射强度随温度的变化趋势，在不同温度下所镀膜层，其某一晶面衍射强度不同，衍射强度越大，说明该温度越有利于该晶面的生长。
温度升高的过程中:
(1)、有利于 BaF2 (200)、(400)晶面的生长。猜想，半导体衬底费用多少，在gt;300c存在一温度有利于BaF2 (200)、(400)晶面的生长。
(2)、抑制BaF2 （111)、(311）晶面的生长。猜想在lt;250c存在一温度利于BaF2 （111)、(311）晶面的生长
(3)、温度升高对于 BaF2 (222）晶面则表现为基本相同。猜想，温度对BaF2(222）晶面生长几乎不影响，或者，250——300·c之间存在一温度利于或不利于BaF2 (222）晶面的生长。
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做 XRD 有什么用途啊，能看出其纯度?还是能看出其中含有某种官能团？
XRD（X 射线衍射）是目前研究晶体结构(如原子或离子及其基团的种类和位置分布，晶胞形状和大小等)有力的方法。XRD 特别适用于晶态物质的物相分析。
因此，通过样品的 X 射线衍射图与已知的晶态物质的 X 射线衍射谱图的对比分析便可以完成样品物相组成和结构的定性鉴定；通过对样品衍射强度数据的分析计算，可以完成样品物相组成的定量分析；XRD 还可以测定材料中晶粒的大小或其排布取向（材料的织构）...等等，应用面十分普遍、广泛。
目前 XRD 主要适用于无机物，对于有机物应用较少。
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[物相分析方面的问题] 样品卡与标准卡对比原则？
提供几条原则供大家参考：
1. .对比 d 值比对比强度要重要；
2. 低角度的线要比高角度的线要重要；
3. 强线比弱线重要；
4. 要重视特征线；
5. 同一个物相可能有多套衍射数据，但要注意有的数据是被删除的；
6. 个别低角度线出现缺失；
7. 由于样品择优取向某些线的强度会发生变化；
8. 有时会出现无法解释的弱线，这是正常的，不能要求把所有的线都得到解释。
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