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静电危害防制方法可分为接地、增加湿度、限制速度、抗静电材料、与静电消除器五种。工业制造过程中,因作业环境、程序及材料的不同,所实施的静电危害防制方法都会有所不同。选用时必须考量现场环境、条件与限制,甚至经费、管理系统与人力素质等因素。没有一种静电危害防制方法可以使用与所有的工业制程或情况,所有都是采用两种或两种以上的静电危害防制方法。

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在半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在芯片上,IC尤其是超大规模集成电路(VLSI)的成品率会大大下降。 IC生产车间操作人员都穿洁净工作服,若人体带静电,则极易吸附尘埃、污物等,若这些尘埃、污物被带到操作现场的话,将影响产品质量,恶化产品性能、大大降低Ic成品率。如果吸附的灰尘粒子的半径大于100μm线条宽度约100μm时,薄膜厚度在50μm下时,则易使产品报废。









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任何两个不同材质的物体只要接触后分离就能产生静电,流动的空气当然能产生静电。为什么流动空气会产生静电呢?因为空气也是由原子组合而成,所以可以这么说,在我们生活的任何时间、任何地点都有可能产生静电。要完全消除静电几乎不可能,但可以采取一些措施控制静电使其不产生危害。对于不同的环境,不同的防护对象,有不同的防护方法和措施。有很多办法可以降低静电以减小静电的危害,如采用一些静电防护器材和措施控制人体和环境的静电,工作人员可穿防静电服和鞋及铺设防静电地面。除了有好的静电控制硬件措施外,还要有静电控制软件措施,这就是静电控制管理和认证制度以及防静电知识培训等。在国外很多部门都有专门的静电控制管理人员。



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