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2022-10-03 10:47:55
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


小角XRD

小角XRD和广角XRD对应,即测试低角度区域,称为小角XRD,测试范围一般为0.5-10 °。小角XRD一般可以探测到更多的微观信息,比如介孔样品除了做物理吸脱附的表征,也可以通过测试小角XRD验证介孔是否规整。

变温XRD

变温XRD,顾名思义,就是改变温度测试XRD, 可测温度范围是95 K-1200℃,测试气氛可以是空气、氮气、气、真空或者二氧化碳。一般情况下需要设置测试的温度点,如室温、100 ℃、300 ℃、500 ℃等,升温速率以及XRD的角度测试范围。此外,还要求样品在测试温度范围内不熔化。




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制作粉末衍射仪试片的技巧

  粉末衍射仪要求样品试片具有一个十分平整的平面,而且对平面中的晶粒的取向常常要求是完全无序的,不存在择优取向(在粘土分析中有时又要求制作定向的试片)。 制作合乎要求的衍射仪试片常用的方法

  通常很细的样品粉末(手摸无颗粒感),如无显著的各相异性且在空气中又稳定,XRD晶粒尺寸哪家好,则可以用“压片法”来制作试片。先把衍射仪所附的制样框用胶纸固定在平滑的玻璃片上(如镜面玻璃,显微镜载玻片等),然后把样品粉末尽可能均匀地洒入(是用细筛子—360目筛入)制样框的窗口中,再用小抹刀的刀口轻轻剁紧,使粉末在窗孔内摊匀堆好,然后用小抹刀把粉末轻轻压紧,用保险刀片(或载玻片的断口)把多余凸出的粉末削去,然后,小心地把制样框从玻璃平面上拿起,便能得到一个很平的样品粉末的平面。此法所需样品粉末量较多,约需0.4cm3。

  “涂片法”所需的样品量少。把粉末撒在一片大小约 25×35×1mm3的显微镜载片上(撒粉的位置要相当于制样框窗孔位置),然后加上足够量的或酒精(假如样品在其中不溶解),使粉末成为薄层浆液状,均匀地涂布开来,粉末的量只需能够形成一个单颗粒层的厚度就可以,待蒸发后,粉末粘附在玻璃片上,可供衍射仪使用,若样品试片需要保存,XRD晶粒尺寸服务,可滴上一滴稀的胶粘剂。




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(2)获得了一批Co合金试样的XRD衍射数据,试样中Co含量超过95%。试样的谱线均在纯钴谱线左侧,低角度谱线偏离0.2度左右,高角度谱线偏离0.3-0.4度左右。请问它们是第二相固溶引起的吗?它们与固溶程度有什么定性和定量的关系?

  根据布拉格公式,峰位置向左偏移,相当于d值变大了,反映其晶胞参数变大了,说明在Co的晶格中渗入了其他的原子。另外,没有出现新的衍射峰,说明是铝的无序固溶体,保持着纯铝的晶体结构。

  (3)已知X射线衍射数据,如何计算晶粒尺寸晶格常数和畸变?

  根据衍射峰的峰形数据可以计算晶粒尺寸晶格常数和畸变。在衍射峰的宽化仅由于晶粒的细小产生的情况下,根据衍射峰的宽化量应用Scherrer公式便可以估算晶粒在该衍射方向上的厚度。



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