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- 发布时间
- 2022-10-04 11:05:34
半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
上述两种方法很简便，XRD掠入射（GIXRD），常用，XRD掠入射（GIXRD）机构，但仍很难避免在样品平面中晶粒会有某种程度的择优取向。
制备几乎无择优取向样品试片的专门方法：
喷雾法。把粉末筛到一只玻璃烧杯里，XRD掠入射（GIXRD）费用，待杯底盖满一薄层粉末后，把塑料胶喷成雾珠落在粉末上，这样，塑料雾珠便会把粉末颗粒敛集成微细的团粒，待干燥后，把这些细团粒自烧杯扫出，分离出细于115目的团粒用于制作试片，试片的制作类似上述的涂片法，把制得的细团粒撒在一张涂有胶粘剂的载片上，待胶干后，倾去多余的颗粒。用喷雾法制得的粉末细团粒也可以用常规的压片法制成试片。或者直接把样品粉末喷落在倾斜放置的涂了胶粘剂的载片上，得到的试片也能大大地克服择优取向，宁夏回族自治XRD掠入射（GIXRD），粉末取向的无序度要比常规的涂片法好得多。 塑合法。把样品粉末和可溶性硬塑料混合，用适当的溶剂溶解后，使其干固，然后再磨碎成粉。所得粉末可按常规的压片法或涂片法制成试片。
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
布拉格方程——XRD理论的基石
布拉格方程是X射线在晶体中产生衍射需要满足的基本条件，其反映了衍射线方向和晶体结构之间的关系。
布拉格方程：2dsinθ=nλ
其中，θ为入射角、d为晶面间距、n为衍射级数、λ为入射线波长，2θ为衍射角
注意：
（a）凡是满足布拉格方程式的方向上的所有晶面上的所有原子衍射波位相完全相同，其振幅互相加强。这样，在2θ方向上面就会出现衍射线，而在其他地方互相抵消，X射线的强度减弱或者等于零
（b）X射线的反射角不同于可见光的反射角，X射线的入射角与反射角的夹角永远是2θ。
（3）谢乐公式——测晶粒度的理论基础
X射线的衍射谱带的宽化程度和晶粒的尺寸有关，晶粒越小，其衍射线将变得弥散而宽化。谢乐公式又称Scherrer公式描述晶粒尺寸与衍射峰半峰宽之间的关系。
K为cherrer常数，B为衍射峰半宽高，K=0.89，若B为衍射峰积分宽度，k=1
θ为衍射角、λ为x射线波长，d为垂直于晶面方向的平均厚度
注意：利用该方程计算平均粒度需要注意：
（1）为半峰宽度，即衍射强度为极大值一半处的宽度，单位为弧度
（2）测定范围3-200nm
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
其内部结构包括:
1、高稳定度X射线发生器及防护系统
2、测角仪(卧式或立式）
3、冷却循环水装置(一体或分体)4、数字化记录控制单元及探测器
5、衍射仪操作系统及应用分析软件包6、高i性能计算机及技术资料和配件
打开冷却水及XRD衍射仪电源，前期预冷半小时，打开计算机，放入样品，打开衍射仪操作软件，设置参数后衍射仪进入工作，数据经探测器显示在衍射仪操作软件上，数据采集结束后，保存数据。
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