半导体XRD研究所 XRD掠入射(GIXRD)检测

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2022-10-17 10:21:45
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XRD掠入射(GIXRD)检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


在金属中的主要应用有以下方面:

物相分析 是X射线衍射在金属中用得多的方面,又分为定性分析和定量分析。定性分析是把对待测材料测得的点阵平面间距及衍射强度与标准物相的衍射数据进行比较,以确定材料中存在的物相;定量分析则根据衍射花样的强度,确定待测材料中各相的比例含量。


取向分析 包括测定单晶取向和多晶的结构(如择优取向)。测定硅钢片的取向就是一例。另外,为研究金属的范性形变过程,如孪生、滑移、滑移面的转动等,也与取向的测定有关。

晶粒(嵌镶块)大小和微观应力的测定 由衍射花样的形状和强度可计算晶粒和微应力的大小。在形变和热处理过程中这两者有明显变化,它直接影响材料的性能。





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精密测阵参数 常用于相图的固态溶解度曲线的绘制。溶解度的变化往往引起点阵常数的变化;当达到溶解限后,安徽XRD掠入射(GIXRD)检测,溶质的继续增加引起新相的析出,不再引起点阵常数的变化。这个转折点即为溶解限。另外点阵常数的精密测定可获得单位晶胞原子数,从而可确定固溶体类型;还可以计算出密度、膨胀系数等有用的物理常数。


宏观应力的测定 宏观残留应力的方向和大小,直接影响机器零件的使用寿命。利用测阵平面在不同方向上的间距的改变,可计算出残留应力的大小和方向。

对晶体结构不完整性的研究 包括对层错、位错、原子静态或动态地偏离平衡位置,短程有序,原子偏聚等方面的研究(见晶体缺陷)。




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XRD与XRF的区别

XRD与XRF的区别:

1,用途:XRD:测定晶体的结构,XRD掠入射(GIXRD)检测费用多少,XRF:元素的定性、定量分析。

2,原理:XRD的基础是X射线的相干散射,布拉格公式、晶体理论;XRF基于莫斯莱定律,特征X射线为基础的。

3,仪器:单色X射线光源,不需要分光晶体。



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