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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

对于正交晶系的晶胞参数,其中 a、b、c 代表晶胞的三个棱的长度。但我不清楚如何定义a、b、c 的方向,也就是说按照什么依据确定这三条棱的方向?是否有明确的规定还是可以任意自定义?

  一般来说可以用 a lt; b lt; c 的定向原则,其实,用什么方向都可以,它们可以通过矩阵来转换。

  晶胞中的 a,b,c,分别是三个晶轴方向上的单位平移向量的长度,称为轴长,不是"三个棱"的长度。轴长符号也常用 a0,b0,c0 表示。轴长单位常用?(埃,Angstrom,=10-10 米)或纳米(nm,=10-9米)。在晶体结构中没有"棱"这样一种说法,只有晶体坐标系,而这个坐标系是用 a,b,c,α,XRD倒易空间(RSM)检测多少钱,β,γ 六个参数来表示的,α,β,γ 分别代表三个轴间的夹角。而"晶棱"是指晶体的外形的棱边。所以说"a、b、c 代表晶胞的三个棱的长度"是错误的。



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没有它的粉晶射线图,但是有根据其单晶 X 射线衍射推算出来的晶胞参数,请问我怎么才能反推算出该晶体的粉晶衍射图?

  如果你有结构数据,就可以从理论上算出粉末衍射图的,XRD倒易空间(RSM)检测价格,可以使用 Materials Studio 的 reflex plus 模块算出来;有原子坐标,通过 diamond 也可以得到它的粉末 XRD 图。

  如何分析出其晶体结构而确定是我们预期的物质呢?

  如果能够在 ICDD 的粉末衍射数据库中找到你预期的物质的衍射据,做一个 XRD 鉴定即可确定。

  用 Jade5 软件可以进行 XRD 定量分析吗?

  XRD 定量分析的基础数据是样品中各组成物相的强度数据(原理上应该用峰的面积数据),余下的工作便是些乘除比例的运算了,使用表格软件(如 WPS Ofice 的"WPS 表格"、微软的 Excel)完成甚为方便。因此,使用任一能够获得峰面积或峰高的软件工具都可以进行 XRD定量分析,安徽XRD倒易空间(RSM)检测,当然,有 Jade 软件更为方便。



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特别是混合物,各相之间的MAC都随所选波长而变化,波长选择不当很可能造成XRD定量结果不准确。

  因为不同元素MAC突变拥有不同的波长,该波长就称为材料的吸收限,若超过了这个范围就会出现强的荧光散射。所以分析样品中的元素选择靶材时,一般选择原子序数比靶的元素的原子序数小1至4。就会出现强的荧光散射。例如使用 Fe 靶分析主要成分元素为 Fe Co Ni 的样品是合适的,而不适合分析含有Mn Cr V Ti 的物质常见的阳极靶材有:Cr, Fe, Co, Ni, Cu, Mo, Ag, W,常用的是Cu靶。




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