半导体XRD测试机构 安徽XRD小角度检测

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广东省科学院半导体研究所
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2022-10-29 10:27:12
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XRD小角度检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


简便性:仪器一键式操作,无需校正,自动检测,XRD小角度检测报告,无需额外注意高压系统和水循环冷却系统(仪器无额外高压和水循环冷却系统)。

  制样简单:单次分析仅需要15毫克左右的样品即可获得的检测结果,样品制备无需制片、压片、刮平等,3分钟即可完成样品制样(粉碎、滤筛、装样)。

  数据传输:仪器通过USB, 蓝牙,WIFI与笔记本电脑实现高速连接,实时对映SHINE仪器进行控制及物相分析。

  良好的环境适应性:专为地质考察而研制,仪器可防雾、防尘、防震动,能适应恶劣的使用环境。

  安全性:的多重防护辐射处理,测量时仪器无任何辐射泄漏。




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具有主要已知取向的晶体可以用固定的排列方式进行布置,但偏离它的范围一般是在几度,有时偏差会达到十几度。在特殊情况下(立方晶体),它也适用于任意取向。

常规晶格的方向是和转台的旋转轴保持一致,获得晶体表面参考的一种可能性是将其地放置在调整好旋转轴的测量台上,并将测量装置安装在测量台下面。

如果要研究大晶体,或者要根据测量结果进行调整,就把晶体放置在转台上。

上表面的角度关系可以通过附加的光学工具获取。方位角基准也可以通过光学或机械工具来实现。




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一X衍射基本原理 当一束单色X射线入射到晶体时,由于晶体是由原子规则排列成的晶胞组成,这些规则排列的原子间距离与入射X射线波长有X射线衍射分析相同数量级,故由不同原子散射的X射线相互干涉。

在某些特殊方向上产生强X射线衍射,衍射线在空间分布的方位和强度,与晶体结构密切相关,每种晶体所产生的衍射花样都反映出该晶体内部的原子分配规律。这就是X射线衍射的基本原理。

二晶体的基本概念晶体:物质内部质点(原子、分子、离子)呈规律排列的固体,XRD小角度检测测试,为“空间格子”状。

晶胞:晶体的重复单位。可以用3个晶轴的长度a、b、c及其夹角α、β、γ6个晶胞参数来描述。

晶面:结晶格子内所有的格子点全部集中在相互平行的等间距的平面群上,这些平面叫做晶面,晶面的间距为d。用晶面指数(Miller指数)来标记。(通过晶体中原子中心的平面叫作晶面)。




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