AlGaN材料XRD检测测试 半导体薄膜测试机构

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2022-11-03 10:30:24
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AlGaN材料XRD检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

XRD在无机合成中物相分析的应用包括定性分析和定量分析两个方面。定性相分析的目的是判定物质中的物相组成,AlGaN材料XRD检测服务,就是确定物质中所包含的结晶物质以何种结晶状态存在。XRD衍射线的位置取决于晶胞的形状和大小,也取决于各晶面间距,而衍射线的相对强度则取决于晶胞内原子的种类、数目及排列方式。不同晶体物质都有不同的结构,AlGaN材料XRD检测测试,所以具有不同的衍射花样。当物质中包含多种的晶体物质时,它们的衍射花样互不干扰。从XRD中得到各自晶体的衍射花样,我们就能来确定物质中的晶体。每种晶体物质都具有特定的晶体结构和点阵参数,不同物相的晶体有不同的X射线衍射图样,也就是不同的衍射线束方向和衍射强度。在鉴定物质时,主要利用Hanawalt数字索引,将得到的谱图与标准PDF卡片对比,如对镍进行X射线衍射得到图1所示衍射图谱,将其与标准PDF卡片对比,发现其与PDF卡片65-2865数据相符,福建AlGaN材料XRD检测,因此证明其为单质因此证明其为单质Ni.将磷钨酸进行X射线粉末衍射,得到图2所示衍射图谱,再与标准PDF卡片对照,发现其与PDF卡片50-0304相符,证明其为H3PW12O40·6H20.

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mdi-jade是处理粉末x射线衍射数据的重要软件,是寻找标准衍射数据的有力工具。因此,它是化学和材料研究人员必备的软件之一。在本文中,小编简要介绍了mdi-jade,并通过一个例子说明了mdi-jade基本的用法。

首先,小编使用的软件版本是MDI Jade 6.0。由于个人设置或软件版本不同,下面的截图可能与读者的截图略有不同。

基本界面

软件的基本界面如上图所示。软件开放界面的菜单栏已经包含了平滑、寻峰、搜索等常用功能。其他比较复杂的功能也需要一些比较繁琐的软件设置,小编这里没有深入的介绍,如果将来有机会的话,我们会一起学习的。本文的内容基本上可以通过上面显示的选项来完成。




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X射线衍射中,Kα,Kβ具体意义


X射线管发生出来的不是纯净的单色光,包含多种波长的射线,主要的是K系射线。K系射线是指阴极电子碰撞阳极,使阳极电子产生K 激发,击走K 层电子后,L层或M 层电子填充K 层电子而产生的X 射线。

K 系射线又可以细分为 Kα(L 层电子填充)和 Kβ(M 层电子填充)两种波长略有差异的两种射线。而 X 射线衍射仪要求使用单色 X 射线。因此,需要在 XRD 测试时把后者除掉,传统的方法是在光路上加入一个滤波片(如 Ni)。现在一般使用铜靶,在光路上增加一个石墨晶体单色器来去除 Kβ射线。单色器可以去除衍射背底,也可以去除 Kβ射线的干扰。Cu的特征谱线波长为:Kα1(1.54056 ?),Kα2 (1.54439 ?),Kβ1 (1.39222 ?)。对于铜靶,Kα波长取Kα1与Kα2的加权平均值,其值为1.54184 ?(布拉格方程和谢乐公式中的λ)。




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