河北XRD小角度检测 半导体XRD物相分析

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2022-11-04 10:13:38
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XRD小角度检测单晶XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

基于Omega扫描全自动晶体定向仪应用

如果只测量一个或几个主要方向的材料,则可以使用所描述的简单类型的排列方式,对于每个不同类型的反射都有对应的合适的面罩。有时,为了扩大接收角范围,可以使用两个探测器。

为了更广泛的应用,XRD小角度检测平台,该装置配备有X射线管和探测器系统的设置能力。

图3是用于研究放置在测量台上的表面均匀的晶体的桌面衍射仪。它的射线和检测装置安装在设备下方,可以应用于大量的晶体种类和取向。

可调止动器允许测量方位角,例如晶片的平面或凹口。



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特点:

(1)能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素,元素定性、定量分析,几分钟即可完成。

(2)对试样与探测器的几何位置要求低:对W.D的要求不是很严格;可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。

(3)能谱所需探针电流小:对电子束照射后易损伤的试样,例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。

(4)检测限一般为0.1%-0.5%,中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。

3、XRD,X射线衍射是测定晶体结构的。X射线衍射,通过对材料进行X射线衍射,分析其衍射图谱,分析材料的成分等。



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一X衍射基本原理 当一束单色X射线入射到晶体时,XRD小角度检测多少钱,由于晶体是由原子规则排列成的晶胞组成,这些规则排列的原子间距离与入射X射线波长有X射线衍射分析相同数量级,故由不同原子散射的X射线相互干涉。

在某些特殊方向上产生强X射线衍射,衍射线在空间分布的方位和强度,河北XRD小角度检测,与晶体结构密切相关,XRD小角度检测报告,每种晶体所产生的衍射花样都反映出该晶体内部的原子分配规律。这就是X射线衍射的基本原理。

二晶体的基本概念晶体:物质内部质点(原子、分子、离子)呈规律排列的固体,为“空间格子”状。

晶胞:晶体的重复单位。可以用3个晶轴的长度a、b、c及其夹角α、β、γ6个晶胞参数来描述。

晶面:结晶格子内所有的格子点全部集中在相互平行的等间距的平面群上,这些平面叫做晶面,晶面的间距为d。用晶面指数(Miller指数)来标记。(通过晶体中原子中心的平面叫作晶面)。




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