- 发布
- 东莞东欧真空设备有限公司
- 电话
- 0769-83523669
- 手机
- 13392736669
- 发布时间
- 2022-11-23 14:38:15
真空泵维修的相关问题。
1，必须先泵浦外观现象是否有破损，如有破损需告知使用单
2，真空泵维修哪家强，维修之前先了解使用单位，使用制程是什么，以便于后续处理的方式做铺垫
3，维修之前先检查泵浦是什么故障，如果是卡死就不宜通电，以免把电机烧毁
4，SC30D真空泵维修，如果使用单位也不确定泵浦本身什么故障，维修人员可以拆掉名pai那里，用扳手转动试试，如果能转动证明没有卡死，我们可以通电检查，如果卡死我们维修人员不适宜通电，以免电机烧毁
5，维修之前检查电源部分，在没有确定之前，先问问使用单位电压是多少，有点没有图纸的，就算有图纸也hao根据使用单位的电压为准，确定电压对了，方可通电运转
iXH 干式工业级真空泵系统
iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有可靠性。
iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，真空泵维修，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，SC5D真空泵维修，可在洁净室内实现低噪声。
特性和优点
该泵设计合理，可进行可靠的长期运行
热过载设备可防止过热（仅用于单相型号）
传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供
电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却
通过全高度 O 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
大尺寸目视镜和宽的工作油范围
泵系列
E2M40
E2M40FX
E2M40T4
E2M80
E2M80FX
E2M80T4
E2M175
E2M175FX
E2M175T3
E2M275
E2M275T3
E2M175 与 E2M275