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- 2022-11-28 10:11:44
当硅片经清洗液处理后表面不沾水分子时称为疏水处理,防水疏水处理,反之表面吸附水膜时为亲水处理。纯净的硅片表面是疏水性的。从能量观点看,疏水处理,疏水性表面属低能表面,疏水处理方法,这时硅片表面张力r(SG)小于水分子表面张力r(SL)。亲水性表面则属高能表面,这时的硅表面张力r(SG)大于水分子表面张力r(SL)。由此可知,硅表面成为亲水性的基本条件为A=r(SG)- r(SL)>0
亲水性(hydrophilic),对水具有亲合力的性能。如·:金属版材如铬、铝、锌及其生成的氢氧化物以及具有毛细现象的物质都有良好的亲水效果。在有机物中表现为羟基和羧基等的亲水性,即它们使该有机物易溶于水。 疏水性(hydrophobic),对水具有排斥能力的性能。如:印版图文的亲油成分和印刷油墨都具有良好的疏水性。在有机物中表现为和苯环等的疏水性,即它们使该有机物难溶于水。
当今社会已经进入了电子信息时代,微处理芯片的发明改变了世界,微电子、信息技术的水平已经被视为一个国家现代化水平高低的重要标志。硅经过提纯加工成单晶硅片,就是生产集成电路芯片的片基。亲水性和疏水性是硅片的重要物理性质,对硅片的后期加工起着重要的作用。当硅片本身的亲疏水性无法达到加工制造的要求时,就要对硅片进行亲疏水处理,使其满足加工制造的要求。