台湾半导体XRD检测 半导体XRD薄膜测试

半导体XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

计数管法

用X射线测定应力，其精度受到许多因素的影响，如被测试件材料的结构、晶粒的粗细程度、衍射面的选择、X射线的波长、采用的测量方法、被测试件表面的平滑度和处理情况等。

70年始使用的多缝平行光阑的平行光束X射线应力测定仪，具有限制X射线入射和衍射光束的水平发散度的效能，提高了测量的精度。X射线测定应力的精度，已能达到±（1～2）千克力/毫米2。

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什么是应力？

物体由于外因（受力、湿度、温度场变化等）而变形时，在物体内各部分之间产生相互作用的内力，以抵抗这种外因的作用，并试图使物体从变形后的位置恢复到变形前的位置。在所考察的截面某一点单位面积上的内力称为应力。同截面垂直的称为正应力或法向应力，同截面相切的称为剪应力或切应力。

物体中一点在所有可能方向上的应力称为该点的应力状态。但过一点可作无数个平面，是否要用无数个平面上的应力才能描述点的应力状态呢？通过下面的分析可知，只需用过一点的任意一组相互垂直的三个平面上的应力就可代表点的应力状态，而其它截面上的应力都可用这组应力及其与需考察的截面的方位关系来表示。

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18.结晶度计算，半导体XRD检测费用多少，热分析的结果和Jade分析结果有偏差，那个结果更加可信？

答：DSC测量结晶度的数据不太可靠，主要是由于材料的结晶度与其结晶过程的热历史关系非常紧密，半导体XRD检测多少钱，是淬火、退火、抑或是别的过程，我们不得而知。而进行DSC操作时，一般我们首先要急速升温至其熔点以上以消除热历史，然后再进行等温结晶或者非等温结晶过程，这种过程无法描述真实的结晶过程。由于结晶过程存在松弛，因此升降温速率对于试验结果影响很大。XRD法通过计算机分峰，可以准确地测量出结晶度，而消除了热历史造成的试验误差。

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