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- 2022-12-18 11:47:57
即硅片表面必须由低能转化为高能表面。从A=r(SG)- r(SL)>0式可以看出:完成上述转化的条件为或者使r(SG).上升,或者r(SL)下降。由于清洗液大多为无机碱、酸的水溶液,知这时r(SL).几乎不变。因此,的方法是改变r(SG), 使之增加。由于结构完整的纯净硅表面r(SG)是固定的,要改变其r(SG),只能改变其表面结构。实际上,硅片经过清洗液洗后,疏水处理方法,表面Si大部分以O键为终端结构,即表面非定形SiOx结构,玻璃疏水处理,利用其高r(SG)值达到硅表面吸附水分子的效果。亲水处理后,疏水处理 图书,硅表面结构
目前,关于PDMS. 与硅基材料低温键合的方法多种多样。在制作硅- PDMS多层结构微阀的过程中,将PDMS直接旋涂、固化在硅片上,实现硅- PDMS薄膜直接键合,这种方法属于可逆键合,键合强度不高。在制作生物芯片时,利用氧等离子体分别处理PDMS和带有氧化层掩膜的硅基片,将其键合在一起。此方法实际上是PDMS与SiO2掩膜层的键合,但在硅表面由热氧化法制得的SiO2膜层与PDMS的键合效果并不理想。