洁净度标准 慧宇昊 洁净度

洁净室检测技术

亦即玷污控制(ContaminationControl)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中，对其所处环境内玷污物（影响对象的加工、处置、等质量、合格率或成功率的物质）进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染（范畴谓之)。人是污染源的发源地：人体每分钟散发10万个粒子（粒径≥0.5μm）。每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80%。

洁净室照度检测注意事项

（1）测量之前，室内照度必须已经趋于稳定；

（2）荧光灯已经由 100h 以上的使用期，检测前已经点燃 15min 以上，洁净度报告，白炽灯已有 10h 以上的使用期，检测前已经点燃 5min 以上。

（3）测点距离地面高 0.8m，按 1~2m 间距布点。30m2 以内的房间测点距墙面0.5m，超过 30m2 的房间，测点距墙 1m。

洁净室竣工后，再投入使用之前，首先要经过国家授权的检测机构的检测，并且取得 洁净室检测合格报告，然后消毒以后，才能正常使用。

缓冲洁净室压差的检测要求

应监测开关门后压差恢复的情况，确保压差恢复后才能打开另一道门。有必要测试和记录这些（开关门）常规压差变化，以便为压力报警设定适当的警戒和行动限。参照以下程序进行评估：

1.关闭所有的门和传递窗，定义所有设备的运行状态，洁净度价格，观察稳定状态下所选择的房间或区间的压差，注意由于风或其它动态影响产生的小的常规波动；

2.每个缓冲间、传递窗或转移舱，打开所有的门，洁净度，一次打开一边的门，洁净度标准，注意房间或区间压力波动。关门，确认压差回到其原始值；

3.泄漏通道，例如门周边泄漏，应进行评估，作为洁净间设计的一部分，以确保为此泄漏做出了足够的空气平衡余量。

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