XRD掠入射（GIXRD）检测分析 半导体薄膜测试机构

XRD掠入射（GIXRD）检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

样品的放置和观察培养单晶时，放到没人碰的地方。不能一天去看几次，也不能放一两个星期都不管。也许有的溶剂体系一两天就析出了晶体，几天之后，溶剂全干了。一般两三天看一次合适，宁夏回族自治XRD掠入射（GIXRD）检测，看的时候不要动它，可拿亮度较高的手电筒照射，观察晶体的大小和光泽。较好的晶体有很光滑的镜面，光泽度很好。明显不行的体系（如析出大量絮状固体或粉末）就要用别的溶剂体系再重新培养。溶剂比例液相扩散法中良溶剂与不良溶剂的比例为 1:2－1:4。对于液相扩散法，选择溶剂体系时，尽量使良溶剂 (如，) 沸点低于不良溶剂 (如己烷，正辛烷) 沸点。通过这样选择，如果扩散均匀后无固体析出，XRD掠入射（GIXRD）检测分析，还可以再进行缓慢挥发。

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11.多晶块体测出来的XRD谱和多晶粉末测出来的一样吗？

答：很有可能不一样。一般晶体结晶时，都有较强的方向性，特别是有比较多的化合物存在时，这时，扫出来的衍射峰会和标准峰相差较多。有些有取向性的材料，某些衍射峰会丢失。

12.涂层/薄膜的小角度掠入射XRD测试，入射角度一般和薄膜厚度怎么来经验匹配？

答：一般情况下，薄膜较薄的话，建议掠入射角度小一点，因为角度越大越容易击穿样品；薄膜较厚时，建议掠入射角度大一点，因为角度太小样品峰会太弱。实际情况还是得根据具体的样品测试来积累经验。

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XRD掠入射（GIXRD）检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，XRD掠入射（GIXRD）检测报告，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，XRD掠入射（GIXRD）检测测试，以及行业应用技术开发。

晶粒大小的计算

衍射粉末晶粒大小的计算主要是以衍射图谱的半宽高为依据来进行相关计算。如果把衍射峰简单地看作是一个三角形，那么峰的面积等于峰高乘以一半高处的宽度。这个半高处的高度有个专门名词，称为“半高宽”，英文写法是FWHM。

样品的晶粒比常规的晶粒小或晶粒内部存在微观的应变均会引起FWHM变宽，导致结果存在误差。所以在使用jade计算时，不同的粉末状态对应不同的计算方法，应根据粉末的实际情况选择相应的宽化因素。

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