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- 东莞东欧真空设备有限公司
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- 发布时间
- 2023-01-06 01:44:16
真空泵应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件，注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换，应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵，每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油。
爱德华真空泵维修之前首先应摸清它的底细，即该泵制造工艺情况、使用情况、原始参数数据、日前：A况、故障前的使用环境、负材状况、故隙现象婶，真空泵维修工厂，然后根据操作使用者的反映，以及亲自观察和试仙测所掌搬的
真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项，真空泵维修，希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项：
1、将多级泵运到现场，找平顶座时不必卸下水泵和电机；
2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上，在地脚螺钉附近垫上楔形铁，将顶座垫下约20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥浆之用；
3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度，真空泵维修保养，找平先用水泥浆填充顶座，待水泥浆做先再检查一下水平度；
应用
半导体的目标应用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括：
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔
主要特性和优势
针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。
符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。
真空泵使用前须符合哪些要求?如下所示：
一、驱动机的转向应与泵的转向相符。
二、各连接螺栓不得有松动现象。
三、在调节机座内、安全补油阀组、泵缸腔内或液压隔膜腔内加注润滑油，均应符合设备技术文件的规定。液压隔膜式计量泵的液压腔内不得存有气体。
双级旋片真空泵转子和泵体之间， 转子与端盖之间的间隙使用油封密封，SP630真空泵维修， 以防漏气。预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂，以及因发生故障所造成的经济损失日益增大，那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要，采用预防维修是不可缺少的。