射频电源维修RF generator ENI(MKS) OTHERS DPGS-10

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2023-12-15 11:21:51
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射频电源维修RF generator ENI(MKS) OTHERS DPGS-10


射频电源常见故障及维修:

故障现象1:打开电源,电源指示灯不亮;

故障现象2:电源灯亮了,预热灯不亮;

故障现象3:电源灯亮了,预热灯亮、辉光亮,匹配器功率及反射功率,电源的功率指示和电流指示不正常。(正常的功 率指针指到220,电流指示0.4)

故障现象4:电源灯亮了,预热灯亮,辉光不亮:;

故障现象5:无功率输出;

故障现象6:有功率输出,但是调不大,或是调不到正常值。

故障现象7:无反射功率,或反射功率过大,射频功率源坏

美国AE射频电源出现故障维修经验发射电路的结构和工作原理

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