TAC涂层解决方案-类金刚石涂层

TAC(Tetrahedral Amorphous Carbon,四面体非晶碳)涂层，是一种无氢DLC（类金刚石）涂层，其膜层可以达到85%以上的（金刚石）SP3键含量，具有极高的硬度极低的摩擦系数、高弹性模量、宽透光范围、良好的化学惰性等优点，其物理化学性质和金刚石极其类似。

应用范围：在微电子工业、半导体器件、高精密模具、数据存储、航空 航天、汽车等领域具有更大的优势。

目前现有的成熟技术制备的Ta-C涂层硬度基本稳定在HV，一般而言，在涂层结合力达标的情况下，涂层的硬度和耐磨性能成正比，对于一些特殊情况下的使用，现有成熟技术制备的Ta-C 涂层很难达到HV的超硬要求。
而超硬类金刚石涂层工艺可大幅增加膜层硬度。