高低温载物台zonglen

高低温载物台zonglen

系统: • -65ºC 到 +200ºC 

扩展温度范围，低噪声，直流控制系统。

在前面板上可设置多达5个温度和斜坡/浸泡/循环热循环装置。

LAN ， RS232；可选:GPIB. 

无需液氮或任何其它消耗性制冷剂. 

高效的冷却系统，用于可靠、低温测试混合动力车和其他高功率设备. 

高低温载物台zonglen

高低温度卡盘: • 温度控制真空卡盘可容纳300毫米的晶圆.

  • 高精度，控温性好，稳定性均匀. 

• 可提供标准、高隔离性和防护配置.

  • 先进的卡盘设计提供了低杂散电容和高接地电阻，直流电源能使电噪声最小化. 

• 可与手动或自动探测站、激光切割器或检查站进行接口。