非接触式PN测试仪

本仪器为非接触，非损伤测试,主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的电学特性。

详细介绍

一、产品描述

主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的电学特性。

二、主要特点

本仪器为非接触，非损伤测试，具有测试速度快，重复性佳，测试敏感性高，可以直接测试产品片等优点。

三、核心模块描述

产品集成方阻（电阻率）、PN型、温度三探头一体式测量，可广泛用于硅片分选机、生产过程分析等光伏及半导体测量领域。本产品由如下部分组成：

1、控制主机

可实现电阻率探头、PN探头、温度探头、光纤信号的统一管理；与远程电脑进行网络通讯。

2、方阻（电阻率）探头

主要利用涡电流测试原理，非接触测试半导体材料，石墨烯，透明导电膜，碳纳米管，金属等材料的电学特性。

3、PN类型检测探头

利用光伏效应，通过测量由光伏效应引起的表面光电压 (SPV), 分析半导体材料相关性质。

四、主要技术参数

参数	探头	说明
组成	方阻探头	方法：非接触式涡流法范围：1-300Ω/□ (0.1 - 20Ω*cm，Tk≈750um）重复性：<1% 示值误差：<±3% 单点测量时间：< 1秒	型号：R-PN-200 (九域半导体科技)
	PN探头	方法：非接触式SPV法单点测量时间：< 1秒误判断 < 0.02%
	控制器	可同时连接电阻率探头和PN探头，可扩展温度探头
	OCR	COGNEX IN-SIGHT 1740系列晶圆读码器
	主机	DELL（windows 10）+23寸显示屏专用数据分析软件（记录、质控、Mapping）可接入MES系统
测量过程	1、放置Wafer至样品台 2、通过按钮Ocr识别Wafer ID信息 3、手动移动探头至待测位置，按钮触发测量 4、数据显示（包括PN 和方阻或电阻率）、记录、质控、输出文件等 5、根据客户需求可定制MES系统
Wafer信息	尺寸：> 2"
额定功率	36W（数据分析模组） + 250W(电脑）
环境温度	23 ±5°C
电源要求	额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz
提供标样	标准片：1片（4寸），电阻率范围1Ωcm - 10Ωcm
验收判定	n 测试条件：设备正常运行后，不低于10片的Wafer进行测试 n 设备性能：满足上述量程内重复性及准确性标准

五、仪器使用环境

l 环境温度：23 ±5°C

l 环境湿度：（65±20）%RH

l 电源要求：额定电压（220±22）VAC 频率（50±1）Hz

六、安装与验收

1) 物流运输；

2) 仪器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（最迟甲方签收仪器后5个工作日），，乙方只收取硬件成本费用；

4) 乙方免费协助甲方将仪器数据对接至甲方MES系统，若需增加硬件则无需甲方承担费用。

八、质保期

本仪器，乙方提供自验收之日起1年质保；

九、发货备件清单