武汉SEM+EDS扫描电镜测试-CNAS/CMA实验室

在电子电气产品的检测与分析领域，SEM + EDS 扫描电镜测试是一种极具价值的技术手段。

SEM（扫描电子显微镜）的测试原理是利用聚焦电子束在样品表面进行扫描。当电子束与样品表面相互作用时，会产生多种信号，如二次电子、背散射电子等。二次电子主要反映样品

表面的形貌特征，其产生量与样品表面的起伏有关，能够呈现出高分辨率的表面微观形貌图像。背散射电子则与样品的原子序数有关，可用于分析样品的成分分布情况。

EDS（能量色散 X 射线光谱仪）则是在 SEM 的基础上，对样品在电子束激发下产生的特征 X 射线进行分析。不同元素的原子受到电子束激发后会发射出具有特定能量的 X 射线，通过

检测这些 X 射线的能量和强度，就可以确定样品中所含元素的种类和相对含量。

目前，并没有专门针对电子电气产品 SEM + EDS 扫描电镜测试的统一标准号，但在实际应用中可参考相关的材料分析标准。

测试流程如下：首先，选取具有代表性的电子电气产品样品。对于块状样品，可能需要进行切割、研磨和抛光等预处理，使其适合放入 SEM 样品室。将处理好的样品放入 SEM 的样品

室，抽真空后，调整电子束的参数，如加速电压、束流等，以获得清晰的表面形貌图像。在观察到感兴趣的区域后，启动 EDS 系统，对该区域进行元素分析。EDS 会采集 X 射线信号并

生成能谱图，通过分析能谱图中的特征峰来确定元素种类和含量。

所需设备主要包括扫描电子显微镜和能量色散 X 射线光谱仪。扫描电子显微镜应具备高分辨率、高放大倍数和稳定的电子束系统，以确保能够清晰地观察到样品的微观结构。能量色散 X 射

线光谱仪需要有高灵敏度和准确的能量分辨率，以便**地分析元素。此外，还需要样品制备设备，如切割机、研磨机、抛光机等，以及用于数据采集和分析的计算机系统。

SEM + EDS 扫描电镜测试为电子电气产品的研发、质量控制和故障分析提供了强有力的支持，有助于深入了解产品的微观结构和成分信息。