洁净工作台校准检测 仪器校准设备计量校验机构 可送检下厂合作

洁净工作台仪器校准过程：

1. 洁净工作台振动

洁净工作台应放置在振动小的地面之上，避免周围环境的影响。在正常操作环境之下，工作台将振动分析仪的拾振装置放置在操作面的几何中心，测量x、y、z、y、z三个轴的总振动值。

2. 洁净工作台的清洁度

可采用28.3/min尘埃粒子计数器或小流量尘埃粒子计数器进行采样，但采样体积应小于1升。当进风口处的气溶胶浓度达到稳定状态时，在距离主过滤器或整流栅出口250mm的平行截面中心处连续测试5次，取平均值。

3. 洁净工作台泄漏仪器校准

用采样器扫描高效过滤器上游约2.5厘米的检漏仪，检查速度小于等于每秒5厘米。当下游浓度与下游浓度之比大于0.01%时，认为洁净工作台存在明显的泄漏，应立即停止泄漏。

4. 洁净工作台噪音仪器校准

噪声环境是在反射较强的相对开放的室内地面之上测量的。设备操作区的开口处如有挡板，应将其充分打开，并应特别注意避免风压的影响和气流引起的振动。噪声测量点应布置在工作台中央，距工作台前缘20cm，高度110cm处，共4次，取平均值为仪器校准结果。

5. 清洁工作台照明仪器校准

在±1.5%范围之内，100 kV范围之内的频率响应误差比较大，测量重复性比较低。超过就是超净工作台仪器的仪器校准过程。

6. 洁净工作台风速仪器校准

在主过滤器或扩散器上游10cm的平面之上，将平面区域划分为至少12个相等的区域。每个区域的中心为风速测试点，每个测试点间的距离不应大于25cm。用热球风速计或热敏电阻风速计测量各点的风速，取平均值作为横截面风速。