XdYZ龙门双驱气浮位移台
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厦门越昌科技有限公司
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越昌
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2026-09-21 15:17:16
产品详情

  厦门越昌科技自主研发的XdYZ龙门双驱气浮位移台,采用龙门双驱同步控制+气浮无接触导向核心技术,彻底消除传统机械传动的摩擦、背隙与横梁偏摆问题,重复定位精度可达亚微米级,水平负载可达50kg以上,兼顾大行程与高精度,是大幅面精密检测、加工场景的核心运动解决方案。

  产品采用大理石高阻尼基座搭配无铁芯直线电机直驱,运动过程无热变形、无爬行、无微粒产生,完全兼容Class 1级半导体洁净室环境。搭配高精度光栅闭环反馈系统,可快速集成到各类检测设备中,大幅缩短项目落地周期。

  在半导体制造领域,位移台可适配大尺寸晶圆缺陷扫描、芯片封装检测、光刻对准等工序,纳米级定位精度搭配零颗粒污染特性,可大幅降低晶圆划伤、错位导致的良率损失;在精密电子与PCB检测领域,可搭载AOI相机完成大尺寸线路板全域扫描,高速运动下依然保持高定位精度,快速识别断路、短路、偏移等微小缺陷;在精密光学与计量领域,可适配大尺寸光学镜片面型检测、三坐标计量、超精密加工等场景,超低振动特性可避免测量过程中的姿态误差,保障检测数据的准确性;在新能源领域,可适配钙钛矿太阳能电池薄膜涂布、大尺寸锂电池极片缺陷检测等场景,高动态响应特性可适配高速扫描检测的高效作业需求。

  作为源头厂商,越昌科技从气浮导轨、直线电机驱动到龙门同步控制系统全部实现自主研发生产,打破进口部件的供应限制与成本制约,可根据客户产线需求定制行程、负载、精度参数,提供从方案设计、安装调试到售后维护的全流程技术支持,响应速度快,可快速交付落地。有大幅面精密检测需求的客户,欢迎联系我们获取专属方案与报价,越昌科技为您提供适配产线的龙门双驱气浮位移台解决方案,助力降本增效!

厦门越昌科技有限公司

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