这里淀积速度的增强机制是气相光化学分解，在作精细图样淀积时，入射光不宜从淀积面的前面入射，而已背面入射为好，否则难以得到淀积图样的高空间分辨率。光抽背面入射就自然有一个淀积厚度的自限制问题。气相光化学分解淀积也不例外。光从背影入射时，随淀积膜厚度的增加。
膜本身对入射光的吸收和反射都增强，透过光变弱，于是淀积速率变慢，市淀积速率和淀积膜厚度都受到“自限制”淀积膜厚度可以达到0.2-0.3um，要得到更厚的淀积膜就比较困难了。提高入射光强度可以在一定范围内增强淀积膜厚度，但这一方法的作用也是有限的，当入射激光过强时，淀积膜对光的吸收会引起较高的温升，最后可能引起淀积膜的消融。
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