变温真空探针台,用于不同环境、不同温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及材料电学特性表征。液氮温度-300摄氏度高温连续变化、控制,功能强大,性价比高。为科研必须的实验设备。
主要特点:
1、探针台温度变化范围:-175℃ ~ 300℃,连续变温无节点。
2、探针台进行“低温冷却”及“高温加热”无须更换腔体,用户可以自如操控探针台从液氮低温段至300摄氏度的高温段,变温迅速而且操作简便。
3、真空腔体有足够的空间,用户更容易进行显微镜、针座或电学设备的调整。
4、石英玻璃视窗,用户可以透过视窗观察腔体内部配置及样品状况。
5、专利的互交连接器技术,使真空探针台更易于应用于直流及射频信号(DC & RF),同时有助于温度显著变化调节下(Min: -175℃, Max:300℃)的光学及电学设备调整。
6、高精度定位螺旋系统;
7、样品盘:最多可以放置10套针座
8、样品盘弹性构造设计:针座Z轴移动时,样品盘弹性构造可以有效保护样品及探针尖;
9、显微镜高兼容性,可以配置高分辨的显微镜及CCD系统;
技术参数:
1、探针台基座、样品盘及变温系统 - 材料:铜; - 尺寸:4英寸; - 样品盘移动(X:20mm Y:20mm); - 温度控制系统,包括测量及显示系统; - 温度范围:-175℃ ~ 300℃ (低温使用LN2杜瓦及LN2管等低温附件);
2、真空腔体: - 尺寸:650*500*350; - 互交通道(3EA, 支持6P连接器); - 观察视窗(240mm, 耐热玻璃视窗);
3、“Y”– 移动驱动器, “Z”– 移动驱动器;
4、X*Y移动平台 移动范围:20*20mm, 分辨率:10um, 重现性:1um;
5、针座: - 磁体固定,Adopted Plate Spring; - 移动范围:X-Y-Z 10-10-10 mm; - BNC/Triaxal电缆; - 针座螺旋分辨率:10um/pitch,重现性:1um; - 尺寸:70*28 mm;
6、Navitar zoom lens system 光学镜头系统;
7、真空泵: - 400升/分钟; - 油过滤器,真空夹钳,波纹管等真空附件;
8、LN2杜瓦:15 L/min, 包括压力控制器;
9、真空连接器;
10、选配的数字CCD相机: - 控制软件,数字相机与显微镜兼容; - 成像传感器:1/2” 彩色CCD; - 分辨率:1.4Megapixel Camera(1280*1024); - 装配类型:C-Mount类型; - 软件提供:USB2.0;
品牌介绍:
深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)是香港森东宝国际有限公司在大陆的全资子公司,自主研发CINDBEST品牌探针台、激光修复仪、集代理半导体测试仪表的综合型厂家。
激光修复仪类型:32寸半自动、32寸手动、70寸半自动、70寸手动激光修复仪。
CINDBEST探针台类型:普通晶圆测试探针台、太阳能电池测试探针台、积分球探针台、IGBT高压大电流探针台、磁场探针台、高低温探针台、气敏分析探针台、低温真空探针台、手套箱内探针台。
探针台配件:金相显微镜、三丰显微镜、体式显微镜、样品加热变温台、防震桌、屏蔽箱、三轴调节探针座、RF四维探针座、高频探针夹具、管状同轴夹具、管状三轴夹具、弹簧同轴夹具、弹簧三轴夹具、钨探针(硬探针、软探针)、GGB高频探针等各类探针台配件。
如需了解更多详细参数,请联系:
肖生
邮箱:aldrich@cindbest.co
探针台类产品,接收客户定制。