5 伺服控制、驱动及接口
5.1 步进电机控制系统的组成
步进电机的控制系统由可编程控制器、环行脉冲分配器和步进电机功率驱动器组成，其结构见图1。
控制系统中PLC用来产生控制脉冲；通过PLC编程输出一定数量的方波脉冲，控制步进电机的转角进而控制伺服机构的进给量；同时通过编程控制脉冲频率——既伺服机构的进给速度；环行脉冲分配器将可编程控制器输出的控制脉冲按步进电机的通电顺序分配到相应的绕组。PLC控制的步进电机可以采用软件环行分配器，也可以采用如图1所示的硬件环行分配器。采用软环占用的PLC资源较多，特别是步进电机绕组相数M>4时，对于大型生产线应该予以充分考虑。采用硬件环行分配器，虽然硬件结构稍微复杂些，但可以节省占用PLC的I/O口点数，目前市场有多种专用芯片可以选用。步进电机功率驱动器将PLC输出的控制脉冲放大到几十~上百伏特、几安~十几安的驱动能力。一般PLC的输出接口具有一定的驱动能力，而通常的晶体管直流输出接口的负载能力仅为十几~几十伏特、几十~几百毫安。但对于功率步进电机则要求几十~上百伏特、几安~十几安的驱动能力，因此应该采用驱动器对输出脉冲进行放大。
MKS PRESSURE TRANSDUCER 100 Torr, 1/4" FVCR, 722B12TCD2FK, SHIPSAMEDAY 1535C2
Polycom RTM-LAN4X1GB, PCB2700D-LO, VER A03-1.10, BRD2700e-Lo
SKF BEARING SPHERICAL ROLLER, 22211 EK/VA759
MKS Type 649, Mass Flow Controller, 649A11T51CADR, N2, 50 SCCM, 10 TORR 1374B2
MKS Type 649 Mass Flow Controller 649A-25061-S, GAS Ar, 50 SCCM, 100 TORR1374B3
MKS Type 649 Mass Flow Controller 649A12T53C3VR, N2, 5000 SCCM, 100 TORR 1374B4
SKF Bearing Roller 50mm Bore X 90mm OD x 23M22210EK/VA751, 22210 EK/VA751 1653W
Fujikin UA9103E0NUFD105, FPR-UDDF-7LP-PI-NBU, SUS316L-P, 1375C
MKS Type 649A Mass Flow Controller 1/4" VCR, 50 SCCM, He, 649A-25014
OMRON CCS RedLED LowAngle 170mm OD, LDR2-170RD-LA, SHIPSAMEDAY 1614D7
Radstone Technology PME CRR-1, PMECRR1, 42 23G
Radstone Technology PME CRR-2, PMECRR2, 42 1H
Iwaki Magnet Gear Pump MDG-M2T100N, Shipsameday154A1
Philips BOARD Ferromatik machines, 1, 940446203021
Swagelok ALD valve 1/4" VCR Thermal Actua, 6LVV-ALD3TMR4-P-C, SHIPSAMEDAY1549F5
MKS Interface Macronode, AS00550-04, SHIPSAMEDAY, Rack H H39
Electroid Particle B, EPB301108S24V, B, 1216B
Metrobility Gig-E Services Line expansion module, 10M/100M/1G, R861-1S, 113Z1