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- 苏州微麦光电有限公司
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- 发布时间
- 2019-02-27 11:29:01
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,光刻板,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
菲林在使用中需注意的事项
每一批次的菲林在投入使用之前,都应进行基本密度测试及网点线性化,而后根据测试结果采取相应的工艺措施,如调整激光焦距、曝光量、显影定影的温度和时间以实现规范化、科学化生产,防止不合格产品产生。
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
集成电路行业中所说的“掩膜”是光掩膜
光掩膜(mask)资料:
在半导体制造的整个流程中,其中一部分就是从版图到wafer制造中间的一个过程,即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分,是流程中造价最i高的一部分,也是限制最i小线宽的瓶颈之一。
苏州制版位于苏州工业园区生物纳米园,是集研究、设计、生产、销售于一体,专业制作高精度掩膜版的企业,拥有高标准的全净化厂房,优i秀的高素质人才、专业的研发团队。 苏州制版,面向中小企业、大学、研究所客户,提供包括全系列精度和面积的铬版和菲林版!根据客户的构想、草图,独i家定制版图提供技术咨询服务!
苏州制版提供包括全系列精度和面积的铬版和菲林版,目前投入生产有多台激光直写设备以及电子束曝光设备。常规铬版CD精度±0.2um,高精石英铬版精度±0.07um。菲林版分辨率20um以上精度±2um。曝光设备外,还拥有全自动显影柜,可以批量进行显影处理,保证生产能力。在图形检验阶段我们拥有自动光学检验机台(AOI),通过图形逻辑对比分析取样,修补能力1.2um,精度±0.1um。可以有效地排除缺陷问题。