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2019-03-27 20:05:55
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退火炉

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。



冷却也是热处理工艺过程中不可缺少的步骤,冷却方法因工艺不同而不同,主要是控制冷却速度。一般退火的冷却速度最慢,正火的冷却速度较快,淬火的冷却速度更快。但还因钢种不同而有不同的要求,例如空硬钢就可以用正火一样的冷却速度进行淬硬。

金属热处理工艺大体可分为整体热处理、表面热处理和化学热处理三大类。根据加热介质、加热温度和冷却方法的不同,每一大类又可区分为若干不同的热处理工艺。同一种金属采用不同的热处理工艺,可获得不同的组织,从而具有不同的性能。钢铁是工业上应用最广的金属,而且钢铁显微组织也最为复杂,因此钢铁热处理工艺种类繁多。

整体热处理是对工件整体加热,然后以适当的速度冷却,专用退火炉设备,以改变其整体力学性能的金属热处理工艺。钢铁整体热处理大致有退火、正火、淬火和回火四种基本工艺。



而且钢材表面氧化脱碳损失较少,所以在某些情况下可以取代完全退火或不完全退火。退火炉再结晶退火、中间退火〔软化退火)、去应力退火等皆属于低温退火范畴。低温退火可降低钢锭的硬度,消除或降低铸态应力,专业退火炉设备,待别适用于淬透性高,退火炉设备哪家好,用普通(完全退火及不完全退火)退火不易使其软化的钢锭口高淬透性钢种在完全退火时,虽经相当缓慢的冷却,钢锭表面也难免发生贝氏体或马氏体转变,合肥退火炉设备,不但不能消除应力,更不易于表面清理。采用低温退火却易于。钢锭的低温退火加热温度为Ac1、以下20---30C。从理论上讲,选择的温度愈接近0.1时效果愈好
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