多功能离子镀膜机

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2010-10-03 08:02:00
产品详情
产品说明:



产品名称:多功能离子镀膜机



产品描述: ZHC系列中频磁控多弧离子镀膜机(PVD)是为适应客户需要镀制多种复杂膜系而设计的,适用于金属、陶瓷、玻璃、水晶等材质表面镀制各种颜色的纳米镀层。膜层品质出众,功能多样,广泛应用于手表、眼镜、手机、资讯产品、五金、玻璃、陶瓷、建材等行业表面镀制各种装饰膜。是镀制IP仿金、IPS、IPC、IP枪、IP黑、IP咖啡色、IP玫瑰、IP蓝、香槟金、干邑色等膜层的理想设备



产品详情说明:

主要特点:

1、沉积速率快,温升小,能较好抑制打火及靶中毒现象;

2、溅射释放的高能量使膜层密度和附着力有显著提高;

3、触摸屏+PLC,可实现全自动控制,自动/手动随时切换;

4、工件架采用公、自转结构,可设置自动正反转,产品均匀**好。

5、可有效避免反油现象,抽气速率快,噪声小,耗能低。

6、可根据客户要求配多套靶源



基本配置:

1、真空室立式单开门结构,304不锈钢制造,真空室内直径自Φ800mm-Φ1300mm;

2、真空系统由旋片泵、直联泵、罗茨泵和分子泵(或扩散泵)构成;

3、镀膜系统采用1-5台中频磁控溅射电源,配有1-5对非平衡磁控靶,并配有6-12个热阴极电弧;

4、脉冲偏压电源;

5、充气系统采用国产或进口气体质量流量计、气体流量控制(显示)仪;

6、电控系统设置电路过载、断水、断气声光报警装置;

7、控制系统(触摸屏+PLC)在自动运转时,实时显示详细参数,全自动控制整个生产过程,并自动存储工艺参数。



技术参数:

总重量 2500kg~3500kg

名义功率 120KW~150KW

抽速(空载) 8×10-3Pa≤15min

极限真空(空载) ≤8×10-4Pa

压升率(空载) 0.67Pa/小时

工件转速 0~5r/min

烘烤温度 室温~350度







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