十槽全自动RCA湿处理清洗设备

设备特点：全自动Wet Station；采用快速传送的System；药液寿命全自动管理可能；在线加热方式；

对应0.2μm Device可能有效节省能源类型的设备；

设备尺寸：L4.5m x W1.1m x H2.0m；

炉管尺寸：Ф300 x max 3500(mm)（根据客户需求定制）；

清洗步骤：放置炉管->注酸->浸泡-> 酸回收->DIW喷淋->排水->气枪吹干->取出炉管；

主要特点：进口耐酸材质外型美观炉管正反转清洗，自/手动换液清洗，循环过滤系统；
设备制造：江苏英思特半导体科技有限公司