万级洁净室 维护规划设计施工检测

洁净度：洁净度10000级的意思即大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3 (35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。

压差及温湿度控制：

1)温度:干盘管系统控制。

2)湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。

3)正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。

检测标准：

气流速度及其均匀度检测，是无尘室效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流无尘室工作区的平均气流通度及其均匀性。

1)室内洁净度的检测：洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。

2)自净时间的检测：通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时恢复其原有洁净度的能力。

3)照度的检测：照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性

4)振动的检测：振动检测的目的是为了判明无尘室各表明的振动幅度。

5)温、湿度的检测：温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测无尘室的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测无尘室中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。