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真空镀膜机分类

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、MBE分子束外延镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。真空镀膜机对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备，其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。夹具运转形式有自转、公转及公转 自转方式，用户可根据片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

光学真空镀膜机清洗和保养方法

光学薄膜在我们的生活中无处不在，从精密及光学设备、显示器设备到日常生活中的光学薄膜应用;比方说，平时戴的眼镜、数码相机、各式家电用品，或者是防伪技术，皆能被称之为光学薄膜技术应用之延伸。光学镀膜技术以及普及到人们生活方方面面，因此光学真空镀膜机也是大家目前非常关注的话题。今天至成真空小编为大家介绍一下光学真空镀膜机在平时运行的时候该如何清洗和保养问题，希望能让大家对光学真空镀膜机多一些了解。

首先我们来介绍一下光绪真空镀膜机的清洗问题：设备使用一个星期后，因镀料除镀在工件表面外，亦因无定向性而工作室内的衬板上镀料，并越镀越厚，该层膜厚因组织、繞疏松，吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时，应对工作室及衬板进行清洗，如不必要拆落来的部件，可用砂纸打磨干净。

因此，衬板必须烘干水份才能安装，烘干前，衬板的水分尽量抹干，工作架等部件用砂纸清洁后，需要把真空室的所有灰尘清理干净，此可用吸尘器吸干净灰尘。后安装衬板时，真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。如使用电子枪及离子源辅助镀膜，可能会造成清洁困难，可使用喷沙等方法来清洁。

光学镀膜机电子枪打火问题是怎么引起的,该如何减少次数呢?

很多人对光学镀膜机电子枪打火问题很疑惑，不知道是什么原因产生的，也不知道该如何减少这种情况的发生，今天至成真空小编为大家讲解一下光学镀膜机电子枪打火问题是怎么引起的？

电子枪在蒸镀时，由于电子束中的电子与气体分子和蒸发材料的蒸汽发生碰撞产生的离子轰击带负电高压电极及其引线，即产生打火。另外，若这些带负高压电的部分有尘粒等杂物，会使该处电场集中了容易打火。故电子束蒸镀设备的高压电源都附有高压自动灭弧复位装置，在打火非常严重时才会自动切断高压，然后又自动恢复，切断与恢复的时间愈短，愈不会影响蒸镀工艺。

那么，在安装和使用的过程中，该如何才能减少打火次数。首先、高压引线应尽量短，并用接地良好的不锈钢板屏蔽住，不要追求美观把引线弯来弯去。然后，枪头金属件和引线定期用细砂纸打光，然后清洗干净。上螺钉的螺孔定期用丝锥攻螺孔，以便螺钉上下方便并保证压的很紧。接着，所有陶瓷件污染后应予更换。电子枪体应可靠接地。对放气量大的材料应充分预热以彻底除气。蒸镀时功率要合适，不可过高造成材料飞溅。高压馈线与高压绝缘子金属件的接线一定要可靠并经常检查，以免增大接触电阻造成发热而烧坏。蒸发档板应高于蒸发源70mm.1