大流量、经济型质量流量控制器
SEC-E40/E50/E60/E70/E80; SEC-E40MK3/E50MK3
特征：可进行准确地质量流量控制
● 高速应答：只需1秒以内（T98）,就能达到流量设定值。
● 采用自动流量功能阀门
主要用途：
● H2,O2,C3H8,CH4,Air等为首的各种可燃烧气体的流量控制
● 清洗气体的流量控制●实验装置上的气体流量控制
● 要求需要自动化的流量控制设备●希望把握所消耗流量总量的设备等
SEC-E40系列
SEC-(MFC) E40/E40MK3 E50/E50MK3 E60 E70 E80
SEF-(MFM) E40 E50 E60 E70 E80
对应气体种类 非腐蚀性气体（MK3型对应N2,O2,Air,H2,Ar,He） N2,O2,Air,H2,Ar,
C3H8,CH4,C4H10 N2,O2,Air,H2
气体连接部分材质 SUS316L.氟橡胶.PTFE.磁性不锈钢 SUS316.氟橡胶.磁性不锈钢
阀的形式 非通电时 关
标准流量里程
（N2相当F.S.） 0/200/300/500 SCCM
SLM 20/30
SLM 50/100 SLM 200SLM 300/500 SLM
流量控制范围(SEC系列对应) 2-100%F.S. 5-100%F.S.
流量测试范围（SEC系列对应） 0-100%F.S.
响应速度 1秒以内（T98） 2秒以内（T98）
流量精度 ±1%F.S. ±2F.S.
直线型 ±0.5%F.S. ±1F.S.
稳定性 ±0.2%F.S. ±0.5%F.S. ±1%F.S.
动作气压（SEC系列对应） 10SCCM-5SLM:50-300KPA(d)
10-30SLM:100-300KPA(d) 100-300KPA(d) 200-350KPA(d)
使用压力（SEC系列对应） 300KPA(G)以下 350KPA(G)以下
耐压 1MPa(G)以下
外部泄漏率 1*10-8PA.m3/s(He)以下 1*10-7PA.m3/s(He)以下 450KPA（G）加压10分间减压1%以内
周围温度 5-50℃（精度保证：15-35℃） 5-45℃（精度保证：15-35℃）
流量设定信号 0.1-5VDC/2-100% F.S. 0.25-5VDC/5-100F.S.
流量输出信号 0-5VDC(最小负载电阻2KΩ)
驱动电源 +15VDC±5% 50mA -15VD±5%150mA 3VA +15VDC ±5% 50mA
-15VDC ±5% 200 mA 3.9VA
标准接头 1/4”SWAGELOK 型号 3/8” SWAGELOK 型号 1/2” SWAGELOK 型号
※入口压力SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:MAX300KPA(G),SEC-70/80:MAX350KPA(G)以下。
※SCCM,SLM是气体流量（ml/min、L/min、at、0℃、101.3kPa）的表示符号
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3有自定调零功能＊1: 上述以外气体标准接头以外请咨询