1、目的：
测量研磨盘的平面度是为了确认研磨盘修面后的状态，确保研磨盘面形精度能满足生产工艺需求。研磨盘面形精度不符合要求时会导致产品研磨时受力不均，磨出来的产品出现高低不平等不良现象！测量研磨盘平面度是保证批量生产产品品质的重要管控手段之一！
2、适用范围：
适用于市场上现有树脂铜盘、树脂铁盘、合成锡盘、压铸盘等研磨盘。
凡对铜表面的质量要求特别高时，就用酒精稀释的滑石粉或用凡士林混合的铁丹粉作润滑剂。研磨铝时，陶瓷金刚石研磨盘硬度，用稀释的矽藻土和硬脂酸或用木质油稀释的硅藻土作润滑剂。研磨铜合金时，惠州陶瓷研磨盘，用机油和脂肪作润滑剂，把选定的润滑液和研磨粉混合，陶瓷研磨盘的用途，然后把混合物仔细地涂擦 [1] 。对研磨盘的要求编辑研磨盘本身在研磨过程中与工件是相互修整的，研磨盘本身的几何精度按一定程度“转写”到工件上，陶瓷研磨盘如何使用，故要求研磨盘的加工面有高的几何精度。
固着磨料研磨盘适用于精密研磨陶瓷、硅片、水晶等脆性材料，研磨盘表面精度保持性好，研磨 [2] 。研磨盘的操作编辑晶片研磨过程的控制，是以控制研磨盘转速与所施加的荷重为主。研磨过程压力示意图右图所示为研磨过程中研磨压力与时间的关系。首先研磨压力需由小慢慢增加(图中Ⅰ区)，以使研磨料能够均匀散布，及去除晶片上的高出点。稳定态(图中Ⅱ区)的研磨压力一般在9.8kPa(100gf/cm2)左右。
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