优尔鸿信检测|超精密量测之3D光学轮廓仪介绍

发布时间:2026-01-22 14:44  点击:1次

超精密量测 3D 光学轮廓仪是现代精密测量领域的一项杰出成果,它在微观形貌测量方面展现出非凡的能力。


从功能角度来看,3D光学轮廓仪以其独特的光学技术实现了高精度的三维测量。它基于光的干涉原理,能够精确捕捉物体表面微观的高度信息。其核心功能之一是对各种复杂表面的形貌重建。

无论是具有精细纹理的机械加工表面,还是有着微妙起伏的光学镜片,它都能生成精确的三维模型。这种重建能力对于质量控制和产品研发意义重大,比如在航空发动机叶片的制造中,可以检

测叶片表面的微小瑕疵和粗糙度,确保其在高速运转下的性能。


在测量精度方面,它达到了纳米级别。这意味着可以分辨出极其微小的高度差,比如在半导体芯片制造中,能够准确测量芯片上电路结构的高度变化,对于控制芯片的性能和良品率起到关键作用。

而且,它可以适应多种材料,包括金属、陶瓷、聚合物以及各种光学材料等。对于透明材料,它利用特殊的光学方法,穿透材料并获取内部界面的形貌信息,这在生物医学领域,如对细胞培养支架

的内部结构分析中发挥重要作用。


它还具备广泛的测量范围和灵活的测量模式。可以根据不同的测量需求,选择合适的测量区域大小和扫描密度。在大面积测量时,能够快速获取整体的形貌概况,同时在局部细节处又能深入分析,

如对大面积的液晶显示屏进行平整度检测,以及对其中某一像素区域的微观结构测量。


此外,3D 光学轮廓仪配备了先进的数据分析功能。可以对测量数据进行实时处理和分析,提取出诸如表面粗糙度参数、斜率、曲率等关键指标,并以直观的图形和数据报告形式呈现,为工程师和科

研人员提供全面的测量分析结果,助力他们深入理解被测物体的微观特性。

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