新材料合成与机理研究:
纳米材料制备:在真空环境下合成纳米金属粉末(如纳米银、镍)、陶瓷粉体(如Al₂O₃、SiC),避免氧化杂质,控制粒径分布(可至50nm以下)。
新型陶瓷与复合材料研发:通过真空与N₂切换,分压控制在1~10kPa,配合压力烧结(如热压工艺)降低烧结温度,优化致密度(>95%)和介电性能。
半导体材料退火:在真空度10⁻⁴Pa级环境下,防止硅表面氧化,通过快速升降温(速率≥20℃/s)实现工艺控制,改善载流子迁移率。
电子信息材料与器件实验:
储能材料开发:在真空或Ar/H₂混合气氛(H₂分压≤5%)下,控温精度±1℃,确保成分均匀性。
文物保护与特种材料分析:如金属文物(如青铜器)的真空去锈与稳定化处理,通过低温真空环境(100~200℃)分解锈蚀产物,避免传统化学处理对文物的损伤。