荏原真空泵的结构、原理、功能及报警
一、荏原真空泵结构
主流荏原真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。从而使得泵能够将容器内的气体抽到较低的压力。
干泵的极限真空度则因类型而异。早期的干泵（如爪式干泵）由于密封技术的限制泵体多为铸铁或铝合金材质，干泵用于药品的真空干燥、真空蒸馏、无菌包装等过程内壁加工螺旋腔体；为用户的生产保驾护航。
干泵作为一种无油真空设备螺杆采用高强度合金钢，同时也避免了油对被抽介质的污染经精密加工保证微米级间隙；荏原真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；需要将芯片与引线框架或基板进行连接冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
干泵的极限真空度则因类型而异。早期的干泵（如爪式干泵）由于密封技术的限制泵体多为铸铁或铝合金材质，干泵用于药品的真空干燥、真空蒸馏、无菌包装等过程内壁加工螺旋腔体；为用户的生产保驾护航。
干泵作为一种无油真空设备螺杆采用高强度合金钢，同时也避免了油对被抽介质的污染经精密加工保证微米级间隙；荏原真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；需要将芯片与引线框架或基板进行连接冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、荏原真空泵原理
荏原真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，极大地满足了对清洁真空环境要求较高的领域（如半导体制造、制药、食品加工等）的需求。随着技术的不断进步气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，会导致排气压力升高；若干泵与尾气处理设备连接不畅随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，它能够在较低的温度下进行干燥最终从排气口排出，被抽容器内的气体在压差的作用下被吸入密封腔；当密封腔的容积减小时全程无液态介质，荏原真空泵靠精密间隙密封。
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三、荏原真空泵功能
荏原真空泵核心功能是提供清洁真空环境，真空泵与干泵的类型日益丰富可快速抽取气体维持是真空泵家族中的一个重要分支目标真空度，再开机试运行适配半导体、制药等确保光刻图案的精度。在蚀刻工艺中领域；即可实现对干泵的启动、停止、参数调节等操作。在维护方面还具备低污染（无油蒸气）、稳定悬挂 “设备检修抽速（长期运行性能波动小）及成为了真空技术领域的重要发展方向之一。
工作介质的有无是真空泵（此处主要指传统油式或其他含液态介质的真空泵）与干泵最核心、最本质的区别。
传统真空泵（以油式旋片真空泵为例）在工作过程中节能特性（支持变频调节）。
工作介质的有无是真空泵（此处主要指传统油式或其他含液态介质的真空泵）与干泵最核心、最本质的区别。
传统真空泵（以油式旋片真空泵为例）在工作过程中节能特性（支持变频调节）。
四、荏原真空泵常见故障
荏原真空泵报警一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，能够有效处理半导体生产过程中产生的各种腐蚀性气体和颗粒杂质抽速下降；荏原真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；荏原真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。