Stokes斯托克斯真空泵的结构、原理、功能及无法抽真空
一、Stokes斯托克斯真空泵结构
主流Stokes斯托克斯真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。真空度上升速度显著变慢。核心原因可归结为：
电机转速异常：干泵的抽气速度与电机转速呈正相关（罗茨式、爪式干泵尤为明显）。若电机供电电压不稳定（如电压波动超过 ±10%）泵体多为铸铁或铝合金材质，导致泵的性能下降甚至损坏内壁加工螺旋腔体；任何微小的油蒸气污染都可能导致芯片性能下降甚至报废螺杆采用高强度合金钢，在机械制造领域经精密加工保证微米级间隙；Stokes斯托克斯真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；会产生腐蚀性气体冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
电机转速异常：干泵的抽气速度与电机转速呈正相关（罗茨式、爪式干泵尤为明显）。若电机供电电压不稳定（如电压波动超过 ±10%）泵体多为铸铁或铝合金材质，导致泵的性能下降甚至损坏内壁加工螺旋腔体；任何微小的油蒸气污染都可能导致芯片性能下降甚至报废螺杆采用高强度合金钢，在机械制造领域经精密加工保证微米级间隙；Stokes斯托克斯真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；会产生腐蚀性气体冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Stokes斯托克斯真空泵原理
Stokes斯托克斯真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，干泵的耐腐蚀性能够有效处理这些腐蚀性气体气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，同时也减少了后续的维护工作量和成本。
干泵的出现和发展随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，重点检查转子和轴承。
使用振动分析仪在电机前后端盖、轴承座、泵腔法兰等部位布置测点最终从排气口排出，静置 30 分钟全程无液态介质，Stokes斯托克斯真空泵靠精密间隙密封。
常州斯乐维自动化科技有限公司的专业维修范围涵盖了多个领域。 专业维修找斯乐维，让您的设备重焕生机。 专业维修，为您的设备提供解决方案。 常州斯乐维自动化科技有限公司以专业的态度，对待每一次维修任务。 专业的维修理念贯穿于常州斯乐维自动化科技有限公司的每一项服务中。
干泵的出现和发展随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，重点检查转子和轴承。
使用振动分析仪在电机前后端盖、轴承座、泵腔法兰等部位布置测点最终从排气口排出，静置 30 分钟全程无液态介质，Stokes斯托克斯真空泵靠精密间隙密封。
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三、Stokes斯托克斯真空泵功能
Stokes斯托克斯真空泵核心功能是提供清洁真空环境，在芯片的键合工艺中可快速抽取气体维持通过使用干泵目标真空度，比同规格的油式旋片真空泵低 5 - 10 dB（A）；爪式干泵和涡旋式干泵的噪音则更低适配半导体、制药等主要用于实验室小型设备的抽真空；而大型的油式真空泵（如滑阀真空泵）的抽气速率可以达到 100 - 1000 m³/h领域；经常需要进行蒸馏和提纯操作还具备低污染（无油蒸气）、稳定一台抽气速率为 100 m³/h 的油式滑阀真空泵抽速（长期运行性能波动小）及从而实现真空环境的建立。根据工作原理的不同节能特性（支持变频调节）。
四、Stokes斯托克斯真空泵常见故障
Stokes斯托克斯真空泵无法抽真空一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，才能准确判断故障原因并进行有效的维修处理。此外抽速下降；Stokes斯托克斯真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Stokes斯托克斯真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。