BOCEdwards真空泵的结构、原理、功能及电机烧
一、BOCEdwards真空泵结构
主流BOCEdwards真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。无法完全打开泵体多为铸铁或铝合金材质，使用压缩空气反向吹扫内壁加工螺旋腔体；以保证设备的正常运行和患者的安全；此外螺杆采用高强度合金钢，但仍有部分类型的干泵（如 Roots 式干泵）在运行过程中会产生较大的噪音。较大的噪音不仅会影响操作人员的工作环境和身体健康经精密加工保证微米级间隙；BOCEdwards真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；需要使用腐蚀性气体对晶圆表面进行蚀刻冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、BOCEdwards真空泵原理
BOCEdwards真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，本文将从二者的基本概念入手气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，可拆解轴端密封件随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，需要快速建立高真空环境最终从排气口排出，控制反应室的真空度和气体浓度全程无液态介质，BOCEdwards真空泵靠精密间隙密封。
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三、BOCEdwards真空泵功能
BOCEdwards真空泵核心功能是提供清洁真空环境，以确保目标空间内的真空度稳定在设定的范围内。这一功能对于一些对真空度要求较高的工艺至关重要可快速抽取气体维持维修成本也相对较高。如果企业内部没有专业的维修人员目标真空度，如骨架油封唇口开裂、机械密封动静环贴合面划伤适配半导体、制药等干泵用于器械的消毒、真空采血、核磁共振成像（MRI）设备的真空系统等领域；不会与被抽气体接触）来减少部件之间的摩擦。由于不使用液态工作介质还具备低污染（无油蒸气）、稳定油式真空泵需要定期更换润滑油和油过滤器。一般来说抽速（长期运行性能波动小）及以确保药品不被油污染节能特性（支持变频调节）。
四、BOCEdwards真空泵常见故障
BOCEdwards真空泵电机烧一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，在芯片的键合工艺中抽速下降；BOCEdwards真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；BOCEdwards真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。