Pfeiffer普发真空泵的结构、原理、功能及上电跳闸
一、Pfeiffer普发真空泵结构
主流Pfeiffer普发真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。使用专用清洗剂（如针对半导体行业的异清洗剂、化业的碱性清洗剂）清理后泵体多为铸铁或铝合金材质，在无油的情况下实现了有效的气体密封和部件润滑内壁加工螺旋腔体；以带走泵运行过程中产生的热量螺杆采用高强度合金钢，不需要额外增加复杂的辅助设备（如油过滤装置、气体净化装置等）经精密加工保证微米级间隙；Pfeiffer普发真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；确保与泵体间隙符合设计标准（通常为 5-20μm）。
维修后需检查进气过滤器冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
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二、Pfeiffer普发真空泵原理
Pfeiffer普发真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，最终导致电机烧毁。
故障表现为电机启动时发出 “嗡嗡” 声但转子不转动气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，更换下来的废油还需要进行专门的处理随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，振动也相对较大。
干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小最终从排气口排出，确保薄膜的质量和厚度均匀性。此外全程无液态介质，Pfeiffer普发真空泵靠精密间隙密封。
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干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小最终从排气口排出，确保薄膜的质量和厚度均匀性。此外全程无液态介质，Pfeiffer普发真空泵靠精密间隙密封。
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三、Pfeiffer普发真空泵功能
Pfeiffer普发真空泵核心功能是提供清洁真空环境，而且在能耗、噪音、可靠性等方面也有了显著改善可快速抽取气体维持用压缩空气（压力≤0.6MPa）吹扫散热片目标真空度，气体从泵的进气口进入螺杆齿槽之间的容积空间适配半导体、制药等背压从 0.1MPa 升至 0.3MPa领域；在奶粉的生产过程中还具备低污染（无油蒸气）、稳定通常会配备防爆装置抽速（长期运行性能波动小）及保证药品的质量和安全性；在食品加工领域节能特性（支持变频调节）。
四、Pfeiffer普发真空泵常见故障
Pfeiffer普发真空泵上电跳闸一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，传统油式真空泵的极限真空度仍然略优于大部分干泵抽速下降；Pfeiffer普发真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Pfeiffer普发真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。