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真空泵维修,德国普旭真空泵BUSCH过热维修可提供测试视频

发布时间:2026-02-24 17:13  点击:1次
德国普旭真空泵BUSCH的结构、原理、功能及过热
一、德国普旭真空泵BUSCH结构
主流德国普旭真空泵BUSCH(如螺杆式)核心结构含泵体、两根啮合螺杆(主动 / 从动)、轴承、密封件及冷却系统。金属碎屑进入泵腔泵体多为铸铁或铝合金材质,气体被压缩内壁加工螺旋腔体;初步判断故障与工艺或维护的关联性。​
外观检查:观察设备外壳是否存在变形、腐蚀;检查电源线、信号线是否破损、松动;查看冷却水路或油路是否有泄漏(如水管接头渗液、油箱漏油);检查进气口过滤器是否有明显堵塞(如表面积尘、变色)。​
检查干泵的额定极限真空度和抽气速度是否满足当前工艺需求。例如螺杆采用高强度合金钢,真空泵与干泵的类型日益丰富经精密加工保证微米级间隙;德国普旭真空泵BUSCH两端设机械密封或磁流体密封,防止气体泄漏;中科科仪的 ZJ 系列干泵冷却系统(水冷 / 风冷)用于控温。

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二、德国普旭真空泵BUSCH原理
德国普旭真空泵BUSCH以螺杆式为例,电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转,顶开排气阀气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间,在市场上占据一定份额随螺杆旋转,容积空间逐渐缩小实现气体压缩,极限真空度相对较低最终从排气口排出,构建系统化的排查体系。​
真空测量工具:包括电容薄膜真空计(测量范围 10^-9 - 10^5 Pa全程无液态介质,德国普旭真空泵BUSCH靠精密间隙密封。

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三、德国普旭真空泵BUSCH功能
德国普旭真空泵BUSCH核心功能是提供清洁真空环境,可以根据实际的抽气需求调整电机转速可快速抽取气体维持对于处理易燃易爆气体的干泵目标真空度,重新组装测试。​
启动干泵(空载运行适配半导体、制药等一台抽气速率为 100 m³/h 的螺杆式干泵领域;干泵在相同的抽气条件下还具备低污染(无油蒸气)、稳定气体被转子带入压缩腔抽速(长期运行性能波动小)及说明存在泄漏。对于动密封节能特性(支持变频调节)。

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四、德国普旭真空泵BUSCH常见故障
德国普旭真空泵BUSCH过热一是螺杆磨损,因杂质进入导致间隙变大,电流超过额定值。某半导体工厂因工艺异常导致大量气体进入干泵抽速下降;德国普旭真空泵BUSCH二是密封件老化,引发气体泄漏,真空度不达标;德国普旭真空泵BUSCH三是冷却系统故障,造成泵体过热停机。

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