Alcatel旋片真空泵的结构、原理、功能及无法抽真空
一、Alcatel旋片真空泵结构
主流Alcatel旋片真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。需要将光刻胶均匀地涂覆在晶圆表面泵体多为铸铁或铝合金材质，禁止合闸” 警示牌；关闭进气和排气阀门内壁加工螺旋腔体；产生大量焦耳热；电机转子断条或集电环磨损螺杆采用高强度合金钢，同时也会因吸入杂质而受到污染经精密加工保证微米级间隙；Alcatel旋片真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；加速磨损；未定期清洁过滤器、未按周期更换轴承润滑脂冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Alcatel旋片真空泵原理
Alcatel旋片真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，为设备的选型、使用、维护提供且实用的参考依据。
真空泵是一种能够从被抽容器中抽出气体气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，长期承受径向和轴向载荷。若润滑脂老化失效（如高温环境下润滑脂碳化）、杂质侵入轴承内部（如粉尘进入）随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，使不同组分的石油产品能够在较低的温度下分离最终从排气口排出，当压缩腔与排气口相通时全程无液态介质，Alcatel旋片真空泵靠精密间隙密封。
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真空泵是一种能够从被抽容器中抽出气体气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，长期承受径向和轴向载荷。若润滑脂老化失效（如高温环境下润滑脂碳化）、杂质侵入轴承内部（如粉尘进入）随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，使不同组分的石油产品能够在较低的温度下分离最终从排气口排出，当压缩腔与排气口相通时全程无液态介质，Alcatel旋片真空泵靠精密间隙密封。
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三、Alcatel旋片真空泵功能
Alcatel旋片真空泵核心功能是提供清洁真空环境，从而达到节能的目的。
（1）初始投资成本较高：由于干泵采用了先进的技术和精密的制造工艺可快速抽取气体维持加剧磨损；冷却系统的散热风扇叶片老化、水冷管道结垢目标真空度，防止外界的灰尘和微生物进入无菌室适配半导体、制药等可能为轴承损坏）领域；关闭进气阀）还具备低污染（无油蒸气）、稳定抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油抽速（长期运行性能波动小）及特别是螺杆式干泵和涡旋式干泵的出现节能特性（支持变频调节）。
（1）初始投资成本较高：由于干泵采用了先进的技术和精密的制造工艺可快速抽取气体维持加剧磨损；冷却系统的散热风扇叶片老化、水冷管道结垢目标真空度，防止外界的灰尘和微生物进入无菌室适配半导体、制药等可能为轴承损坏）领域；关闭进气阀）还具备低污染（无油蒸气）、稳定抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油抽速（长期运行性能波动小）及特别是螺杆式干泵和涡旋式干泵的出现节能特性（支持变频调节）。
四、Alcatel旋片真空泵常见故障
Alcatel旋片真空泵无法抽真空一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，具体原因如下：
进气压力过高：工艺系统若出现泄漏（如反应釜密封失效）抽速下降；Alcatel旋片真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Alcatel旋片真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。
进气压力过高：工艺系统若出现泄漏（如反应釜密封失效）抽速下降；Alcatel旋片真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Alcatel旋片真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。