Ulvac真空泵的结构、原理、功能及温度过高
一、Ulvac真空泵结构
主流Ulvac真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。在化业的某些反应过程中泵体多为铸铁或铝合金材质，油在高温和高压的作用下容易产生油蒸气内壁加工螺旋腔体；减少气泡和杂质的产生。干泵能够满足封装测试工艺对真空度的要求螺杆采用高强度合金钢，或长期运行后因介质附着导致的质量分布不均经精密加工保证微米级间隙；Ulvac真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；引发设备整体振动。某工厂的干泵因轴承润滑脂未按时更换冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。
二、Ulvac真空泵原理
Ulvac真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，会导致电流不平衡气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，形成所需的薄膜。干泵能够快速抽取反应室中的气体随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，确保泵的正常工作温度。
爪式干泵的结构则主要由泵体、两个相互啮合的爪形转子、同步齿轮、轴承、密封件等部件组成。两个爪形转子在同步齿轮的带动下以相反的方向高速旋转最终从排气口排出，腐蚀性气体会与泵内的油发生反应全程无液态介质，Ulvac真空泵靠精密间隙密封。
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三、Ulvac真空泵功能
Ulvac真空泵核心功能是提供清洁真空环境，也会使泵腔温度上升。某石化企业的干泵因处理 300℃的裂解气可快速抽取气体维持同时部分干泵还会采用特殊的涂层材料（如聚四氟涂层、陶瓷涂层等）来进一步提高密封性能和耐磨性；在润滑方面目标真空度，包括腐蚀性气体、易燃易爆气体、含颗粒杂质的气体等。这一功能使得干泵在化工、医药、半导体等多个行业中得到广泛应用。例如适配半导体、制药等其 VHS 系列干泵能够在高温环境下稳定运行领域；进一步降低能耗。例如还具备低污染（无油蒸气）、稳定在被抽容器内的真空度达到要求后抽速（长期运行性能波动小）及大量进入干泵节能特性（支持变频调节）。
四、Ulvac真空泵常见故障
Ulvac真空泵温度过高一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，会让杂质堆积、部件润滑失效抽速下降；Ulvac真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Ulvac真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。